傳統的電容耦合式香蕉视频黄污清洗機結構，即內平行極板。係統由三大部分組成包括真空係統、放電係統和控製係統

　　在容性耦合香蕉视频黄污產生裝置下，電子密度與極板間距成正比例關係，平均電子溫度與極板間距成反比關係，其均勻性與極板間距成正比關係即隨著間距的增大均勻性變好。

　　臥室電容耦合香蕉视频黄污清洗機，可以直接將工件放在下電極上，但是研究發現，香蕉视频黄污體密度最大區域，是在香蕉视频黄污區域2-8cm 之間，因此可以使用一個高度為3cm的支座，支座的放置也便於工件的取放。因為支座要放置在極板上，極板溫度在放電過程中會持續增高，所以在支座材料選擇上麵選擇了不易氧化的材料。

　　為了滿足不同工藝的需求，需要向反應腔體內部充入不同的氣體。

　　充氣係統由截止閥、流量控製器、管路以及各氣體儲存罐組成。

　　電容耦合式香蕉视频黄污清洗機反應室本身為不鏽鋼管構成，電容極板位於真空室內， 因為金屬本身對於輻射具有很好的屏蔽效果，所以不需要在對裝置設置單獨的屏蔽 裝置，輻射和幹擾都非常小，不會對控製係統造成幹擾。

　　清洗過程中運行參數包括真空度、射頻輸出功率、清洗時間，等都在觸摸 屏上顯示，同時還需要調節氣體流量和混合比列