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　　一、 調整合適的頻率：

　　頻率越高，氧越易電離構成香蕉视频黄污體。頻率太高，以致電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子磕碰概率反而減少，使電離率降低。通常常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。

　　二、 調整合適功率：

　　關於必定量的氣體，功率大，香蕉视频黄污體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快;但當功率增大到必定值，反響所能耗費的活性離子到達飽滿，功率再大，去膠速度則無顯著添加。由於功率大，基片溫度高，所以應根據技術需求調理功率。

　　三、 調整適合的真空度：

　　恰當的真空度，可使電子運動的平均自由程變大，因而從電場取得的能量就大，有利電離。別的當氧氣流量必守時，真空度越高，則氧的相對份額就大，發生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高，活性粒子濃度反而會減小。

　　四、 氧氣流量的調整：

　　氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加速;但流量太大，則離子的複合概率增大，電子運動的平均自由程縮短，電離強度反而降低。若反響室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也添加，其間尚沒參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加， 因而流量添加對去膠速率的影響也就不甚顯著。

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